[특징주] 예스티, 반도체 HPA 시장 '독점 깼다'…HPSP와 소송서 "특허 침해 아니다" 승리

ⓒ 예스티

[프라임경제] 금일 장 후반 예스티(122640)가 급등세를 나타내고 있다. 이는 그동안 논란이됐던 HPSP와 예스티의 특허침해 소송에서 예스티가 HPSP의 특허를 침해하지 않았다는 판결을 받으며 유리한 고지를 선점했다는 소식으로 인해 향후 기대감이 작용한 것으로 풀이된다. 

18일 14시42분 현재 예스티는 코스닥 시장에서 전 거래일 대비 23.63% 오른 4만1600원에 거래되고 있다.

금일 특허법원이 HPSP의 고압수소어닐링(HPA) 장비 특허 1건에 대해 유효하다는 판단과, 예스티가 HPSP 특허를 침해하지 않았다는 판결을 각각 내렸다. 

금일 특허법원은 HPSP와 예스티가 각각 제기한 심결취소소송 3건을 모두 기각했다. 특허법원이 이번에 판단한 특허는 HPSP의 '반도체 기판 처리용 챔버 개폐장치'(등록번호 1553027, 아래 '027 특허)다. 

앞서 특허심판원은 무효심판에선 특허권자 HPSP 주장(유효)을, 소극적 권리범위확인심판에선 청구인 예스티 주장(비침해)을 받아들였다. 소극적 권리범위확인심판은 상대 특허를 침해하지 않았다고 주장하는 분쟁이다. 

유효 판단에 대해선 예스티가 불복했고, 비침해 판단에 대해선 HPSP가 불복하며 특허법원에 심결취소소송 3건이 접수됐다. 

이번에 특허법원이 "예스티가 HPSP의 특허를 침해하지 않았다"고 판단하면서 예스티가 유리한 입장을 차지하게 됐다. 

한편 양사는 현재 고압수소어닐링(HPA) 장비 시장을 놓고 특허분쟁 중이다. 고압수소어닐링 장비는 반도체의 실리콘 산화물(SiO) 표면 결함을 고압수소·중수소로 치환해 특성을 개선할 때 사용한다. 과거 HPSP가 해당 시장을 독점했으나, 예스티가 지난해 말부터 시장에 진입했다.