예스티, 차세대 반도체 장비 관련 국책과제 사업 선정

ALD‧고속 플라즈마 다이싱 장비 개발 과제 수행…전공정 장비사업 진출 도모

[프라임경제] 반도체·디스플레이 열제어 장비 전문기업 예스티(122640, 대표 장동복)가 한국산업기술평가관리원의 차세대지능형반도체기술개발 사업에 선정됐다고 29일 밝혔다.

이번 과제는 산업통상자원부 산하기관인 한국산업기술평가관리원에서 주관하는 차세대지능형반도체기술개발 사업 중 원자층증착(ALD) 장비 개발에 해당한다. 기간은 2023년 12월까지 4년간 진행되며, 총사업비 70억원으로 동일 사업내 가장 큰 규모를 차지하는 과제 중 하나다.

이번 ALD 장비 개발은 미국에 있는 달라스 대학교와 협업해 수행하게 된다. ALD 장비는 메모리 반도체의 제조 공정 중 유전막을 증착하는 장비로 원자층 단위로 증착을 수행하기에 점차 박막화·소형화 되어가는 차세대 반도체 소자에 적합한 공정 장비로 그 수요가 점차 크게 증가할 것으로 기대된다.

예스티는 지난 23일 같은 기관의 산업핵심기술개발사업 과제에도 선정됐다. 이는 고속·고품질의 마스크리스(Maskless) 플라즈마 반도체 웨이퍼 다이싱 가공장비 개발 과제로 2022년 12월까지 3년간 진행되며, 총사업비는 38억원이다.

예스티 관계자는 "지난 수년간 반도체 전공정 장비사업 진출을 위해 적극적인 연구개발(R&D) 투자를 했으며, 그 결실로 이번 국책과제에 선정됐다"며 "차세대 장비의 성공적인 개발을 통해 반도체 장비 국산화에 앞장서고 전공정 장비 사업에도 진출할 것"이라고 말했다.