- 글자크기
[프라임경제] 테스(095610)는 '탄소 및 보론을 포함하는 비정질 실리콘막의 형성 방법' 특허권을 취득했다고 4일 공시했다.
해당 특허에 따르면 양산 공정에 적용 가능한 탄소 및 보론을 포함하는 비정질 실리콘막을 제공할 수 있으며, 하드마스크로써 적용 가능한 경도와 스트레스 특성을 가질 수 있다고 나타났다.
회사는 이번 특허를 통해 장비 제조사 특허기술 적용을 통한 제품 경쟁력을 강화할 방침이다. 특허권자는 주식회사 테스, 특허 취득일자는 2019년 9월4일이다.
저작권자(c) 프라임경제, 무단전재 및 재배포금지, AI 학습 및 활용 금지
많이 본 뉴스
(우) 07333 서울시 영등포구 여의대방로67길 9 (여의도동 44-33) 두일빌딩3층 | Tel : 02-761-6114 | Fax : 02-761-6163
상호명 : (주)프라임경제 (제호:프라임경제) | 회장 : 이승찬 | 발행인 : 이종엽 | 편집인 : 이 호 | 청소년보호관리책임자 : 정호수
인터넷신문 등록 No.서울,아00487 등록일자:2008년01월04일 발행일자:2005년10월01일
Copyright ⓒ 2005 프라임경제 All rights reserved.
「본지는 한국신문윤리위원회의 서약사로서 신문윤리강령을 준수합니다.」
상호명 : (주)프라임경제 (제호:프라임경제) | 회장 : 이승찬 | 발행인 : 이종엽 | 편집인 : 이 호 | 청소년보호관리책임자 : 정호수
인터넷신문 등록 No.서울,아00487 등록일자:2008년01월04일 발행일자:2005년10월01일
Copyright ⓒ 2005 프라임경제 All rights reserved.
「본지는 한국신문윤리위원회의 서약사로서 신문윤리강령을 준수합니다.」
모바일 보기