테스, 반도체 장비 관련 에칭방법 특허 취득

[프라임경제] 테스(095610)는 반도체 장비에 적용되는 에칭방법 관련 국내 특허권을 취득했다고 2일 공시했다.

회사 측은 "이번 특허는 폴리실리콘 패턴 상부 일부 데미지 발생 및 에칭량, 식각잔유물 디펙트 등 문제점을 해소할 수 있을 것"이라며 "반도체 장비 제조시 특허기술 적용을 통해 제품경쟁력 강화에 기여 할 것"이라고 밝혔다.