[프라임경제] 삼성전자가 업계 최소 선폭·최대 용량의 30나노 64기가 낸드 플래시 개발에 성공했다고 23일 밝혔다.
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삼성전자의 30나노 64기가 낸드 플래시는 작년 40나노 32기가 낸드 플래시 개발시 삼성이 최초로 적용한 CTF 기술을 기반으로 하고, 기존의 DPT 기술과는 차별화 된 ‘삼성의 독창적 DPT(SaDPT, Self-aligned Double Patterning Technology)’ 공정 기술을 비롯한 최첨단 설계/소자/Layout 등의 기술을 집대성, 추가로 적용 하여 얻은 성과라는 게 회사측의 설명이다.
CTF가 기존의 고정 관념을 바꾸어 전하를 도체가 아닌 부도체에 저장, 셀간 정보 간섭을 최대한 억제함으로써 작년까지만 해도 한계로 알려져 왔던 50나노 장벽을 허물고, 40나노급 이하에서의 상용화 가능성을 최초로 제시한 기술이라면, 금번 개발을 위해 CTF와 함께 적용된 ‘SaDPT 기술’ 은 기존 DPT 기술을 한 단계 더 발전시킨 삼성만의 독창적 DPT 기술 이라는 설명이다.
삼성전자는 이 보다 더 고무적인 것은, 이 기술을 20나노급까지도 확대 적용 함으로써 추가 투자 없이도 차세대 (30나노)는 물론, 차차세대 (20나노)까지의 공정 전환과 제품화 가능성을 제시 했다는 점이라고 평가했다.
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