주성엔지니어링, 히터온도 제어시스템 특허취득

[프라임경제] 주성엔지니어링은 웨이퍼의 균일도를 향상시키는 히터의 온도를 제어하는 히터의 다중 온도 제어시스템에 대한 특허권을 취득했다고 16일 공시했다.

특허권 취득(자율공시)

1. 특허명칭	히터의 다중 온도 제어시스템
2. 특허 주요내용	본 발명은 웨이퍼의 균일도를 향상시키는 히터의 온도를 제어하는 시스템에 관한 특허.
3. 특허권자	주성엔지니어링㈜
4. 특허취득일자	2010-12-15
5. 특허 활용계획	당사 반도체, FPD, 태양광 사업의 경쟁력 강화
6. 확인일자	2010-12-15
7. 기타 투자판단에 참고할 사항	상기특허는 한국특허임