SK하이닉스, 가우스랩스와 AI 기반 반도체 계측기술 성과 발표

[프라임경제] SK하이닉스(000660)는 가우스랩스와 미국 캘리포니아주 새너제이에서 열린 국제학회 'SPIE AL 2024'에 참가해 인공지능(AI) 기반 반도체 계측 기술 개발 성과를 발표했다고 29일 밝혔다.

김영한 가우스랩스 대표(가운데)가 가우스랩스 구성원들과 함께 기념사진을 촬영하고 있다. ⓒ SK하이닉스

SK하이닉스는 반도체 수율과 생산성을 높이기 위해 그동안 가우스랩스와 다양한 영역에서 협업해왔고, 이번에 두 회사의 개발 성과가 담긴 논문 2편을 발표했다.

가우스랩스는 이번 발표를 통해 AI 기반 가상 계측 솔루션 '파놉테스 VM(Virtual Metrology)'의 예측 정확도를 높이는 알고리즘인 '통합 적응형 온라인 모델'을 소개했다.

SK하이닉스는 지난 2022년 12월부터 파놉테스 VM을 도입해 현재까지 5000만장 이상의 웨이퍼에 가상 계측을 진행했다. 

이를 시간으로 환산하면 초당 1개 이상의 웨이퍼를 가상 계측한 것으로, SK하이닉스는 이 소프트웨어의 성능에 힘입어 공정 산포(제품의 품질 변동 크기)를 약 29% 개선했다.

가우스랩스가 새롭게 공개한 알고리즘은 기존 적응형 온라인 모델을 업그레이드한 버전으로 데이터 부족 문제를 해결하는 동시에 예측 정확도를 높였다.

회사는 이와 함께 '범용 노이즈 제거 기술(Universal Denoising)'도 소개했다. AI를 이용해 다양한 형태의 이미지에서 노이즈를 한번에 제거해 주는 기술로 양사 테스트 결과, 이미지 획득 시간이 기존 기술의 4분의 1까지 단축됐다. 또 이를 통해 향후 반도체 계측 장비의 생산성을 42% 개선할 전망이라고 밝혔다. 

김영한 가우스랩스 대표는 "산업용 AI 소프트웨어가 반도체 제조 현장에서 효과적으로 사용될 수 있도록 하는 연구개발에 힘쓰고 있다"며 "앞으로도 AI 기반의 다양한 솔루션 제품을 지속 출시해 제조 현장의 인공지능화를 선도할 것"이라고 말했다.