SK하이닉스, 웨이퍼 제조 공정 결과 예측 'AI 솔루션' 도입

공정 산포 평균 21.5% 개선 효과 얻어

[프라임경제] SK하이닉스(000660)는 반도체 공정에 인공지능(AI) 솔루션을 도입해 생산 운영 효율 및 수율 개선에 나섰다고 10일 밝혔다.

ⓒ 연합뉴스

작년 11월 SK하이닉스가 투자한 산업 AI 전문 스타트업 '가우스랩스'는 가상 계측 AI솔루션 Panoptes VM(Virtual Metrology) 소프트웨어 제품을 출시했다. SK하이닉스는 12월부터 '판옵테스 VM'을 양산 팹(반도체 생산공장)에 도입했다.

판옵테스 VM은 제조 공정 결과를 센서 데이터를 활용해 예측하는 가상 계측 AI 솔루션이다.

판옵테스 VM이 우선적으로 도입된 박막 증착 공정은 웨이퍼 위에 박막을 씌우는 핵심적인 과정으로, 박막의 두께와 굴절률은 반도체의 품질과 직결된다. 하지만 미세한 박막에서 이를 계측하는 과정에는 많은 시간과 자원이 소요돼 전수 계측이 어렵다.

이를 해결하기 위해 박막 증착 공정에 판옵테스 VM을 도입했다. 그 후 판옵테스 VM을 통해 분석된 데이터 결과값을 APC(Advanced Process Control)와 연동해 공정 산포(생산된 제품의 품질 변동 크기) 평균 21.5% 개선 효과를 얻었다. 

향후 SK하이닉스와 가우스랩스는 박막 증착 공정 외 다른 공정에도 횡전개 확대 진행을 검토하고 있다.

김영식 SK하이닉스 제조·기술 부사장은 "가우스랩스와 협력을 통해 한층 지능화된 스마트팩토리 구현에 힘쓰고 있다"며 "반도체 개발 및 생산 전반에 AI 기술을 접목해 기술 우위를 지속 확보해 나갈 것"이라고 말했다.