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시노펙스, 반도체산업발전 유공자 산업통상자원부 장관 표창 수상

수입의존 CMP공정 필터 국산화, 국내 반도체산업의 공로 인정

양민호 기자 | ymh@newsprime.co.kr | 2020.10.30 09:43:02
[프라임경제] 시노펙스(025320)는 한국 반도체산업 발전에 기여한 공로를 인정받아 산업부 장관 상을 받았다고 30일 밝혔다.

지난 29일 코엑스에서 '제 13회 반도체의 날'에서 산업부장관상 수상한 이하나 시노펙스 팀장이 기념촬영을 하고 있다. ⓒ 시노펙스


시노펙스는 지난 29일 코엑스에서 열린 한국반도체산업협회가 주최한 '제 13회 반도체의 날' 기념 행사에서 산업통상자원부 장관 표창을 수상했다. 

시노펙스는 수입에 의존해오던 반도체 CMP(Chemical Mechanical Polishing)공정의 필터 국산화에 성공하고 관련된 다양한 필터 제품들을 공급해오면서 성능을 개선해 국내 반도체산업의 발전에 기여한 공로를 인정받았다. 

시노펙스는 지난 2010년 반도체산업용 POU(POU)필터 개발로 국산화에 성공한 이후, 국내 및 대 만 등의 반도체공정에 필터들을 공급하기 시작했다. 2014년부터는 반도체사업부 필터 1차 협력사로 등록되기도 했다. 

POU필터는 반도체 제조공정 중에서 웨이퍼 연마에 필요한 슬러리(Slurry)용액을 최종 여과하는데 사용되는 필터다. 특히 필터링된 균질한 사이즈의 미세입자로 웨이퍼 표면을 가공하기 때문에 반도체 퀄리티와도 직결된다. 

이번에 대표로 수상한 이하나 멤브레인필터사업부 팀장은 수입산이 주를 이루던 CMP용 POU 필터에서부터 여러 종류의 CMP용 카트리지(Cartridge) 필터 개발에 참여했다. 

이 팀장은 생산현장 경험을 토대로 멤브레인필터사업부 및 IT부품사업부의 생산과 영업 현장 등 전 사업부문을 맡고 있으며, 최근에 출시된 '시노텍스 멤브레인필터 마스크'를 생산 공급하고 있는 시노펙스의 자회사인 에스엘바이오필터텍의 최연소 대표로서 마스크사업과 관련한 전반적인 업무도 지원하고 있다. 


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