기가비스, AOR 설비 관련 3차원 측정방식 기술 특허 취득

불량 수리 후 데미지 3차원 분석…핵심 기술 보호 및 경쟁력 확보

[프라임경제] 글로벌 반도체기판 검사 선도기업 기가비스(420770)가 '초점 변화 기반 3차원 측정기에서 최적의 스캔 범위 자동 설정'에 대한 특허를 취득했다고 22일 밝혔다.

ⓒ 기가비스

이번 특허는 기가비스의 핵심인 AOR 설비에 장착돼 불량 수리 후 데미지를 3차원으로 분석하는 데 사용할 수 있는 특허이다. 

향후 AOI 및 VRS에도 3차원 측정기 탑재가 가능해 기술의 확장성이 매우 크다.

AOR(Automated Optical Repair, 자동광학수리기)은 불량회로가 있는 기판을 폐기하지 않고 양품으로 활용할 수 있어 제품 수율을 획기적으로 향상시킬 수 있는 설비다. AOR은 기술 고도화가 매우 어려운 설비로 세계적으로 당사를 포함해 두 회사만 해당 설비를 제작할 수 있다.

강해철 기가비스 대표는 "초점 변화 기반 3차원 측정 방식으로 미세 패턴이 밀집된 영역의 정확한 형상 분석을 위해서는 반드시 필요한 기술이 특허로 등록됨으로써 핵심 기술 보호 및 당사 3차원 측정기의 기술 경쟁력을 확보하게 됐다"고 강조했다.

한편 기가비스는 지난 5월 많은 투자자들의 관심을 받으며 코스닥에 상장했으며 첨단 기술 리더십 기반으로 시장을 선도하고 있는 반도체기판 후공정 검사분야의 대표기업이다.