[프라임경제] 주성엔지니어링은 웨이퍼의 균일도를 향상시키는 히터의 온도를 제어하는 히터의 다중 온도 제어시스템에 대한 특허권을 취득했다고 16일 공시했다.
| 1. 특허명칭 | 히터의 다중 온도 제어시스템 |
| 2. 특허 주요내용 | 본 발명은 웨이퍼의 균일도를 향상시키는 히터의 온도를 제어하는 시스템에 관한 특허. |
| 3. 특허권자 | 주성엔지니어링㈜ |
| 4. 특허취득일자 | 2010-12-15 |
| 5. 특허 활용계획 | 당사 반도체, FPD, 태양광 사업의 경쟁력 강화 |
| 6. 확인일자 | 2010-12-15 |
| 7. 기타 투자판단에 참고할 사항 | 상기특허는 한국특허임 |
