[프라임경제] 주성엔지니어링(036930)은 실리콘 나이트라이드의 원자층 증착 방법에 대한 특허권을 취득했다고 13일 공시했다.
특허권 취득(자율공시)
| 1. 특허명칭 | 실리콘 나이트라이드의 원자층 증착 방법 |
| 2. 특허 주요내용 | 본 발명은 증착 속도 향상 및 공정 효율의 증가를 위한 실리콘 나이트라이드 증착 방법에 관한 특허임. |
| 3. 특허권자 | 주성엔지니어링㈜ |
| 4. 특허취득일자 | 2010-10-13 |
| 5. 특허 활용계획 | 당사 반도체, FPD 장비사업의 경쟁력 강화 |
| 6. 확인일자 | 2010-10-13 |
| 7. 기타 투자판단에 참고할 사항 | 상기특허는 한국특허임 |
