[프라임경제]테스(095610)가 공정 가스의 불안정한 기류 발생을 방지하는 반도체 제조 장치 특허를 취득했다고 5일 공시했다.
| 1. 특허명칭 | 반도체 제조 장치 |
| 2. 특허 주요내용 | 본 특허에 의하면, 공정 가스의 불안정한 기류 발생을 방지하고, 열 손실을 방지하여 기판 상에 증착되는 박막의 균일성을 향상시킬 수 있다. |
| 3. 특허권자 | 주식회사 테스 |
| 4. 특허취득일자 | 2010-10-05 |
| 5. 특허 활용계획 | 장비 제조시 특허기술 적용을 통한 기술 및 원가경쟁력 강화 |
| 6. 확인일자 | 2010-10-05 |
| 7. 기타 투자판단에 참고할 사항 | - |
