| 1. 특허명칭 | 가스 공급 어셈블리 |
| 2. 특허 주요내용 | 본 특허에 의하면 열팽창 계수가 다른 샤워헤드판과 절연체에 미끄럼을 유발하는 슬립부재를 구비함에 따라 ①플라즈마 형성시 샤워헤드판과 절연체가 서로 다르게 열팽창 되더라도 그 계면에서 슬립부재에 의한 미끄러짐이 발생되어 마찰이 방지되고, ②이에 따라 절연체의 파손 및 손상을 방지할 수 있는 효과가 있다. |
| 3. 특허권자 | 주식회사 테스 |
| 4. 특허취득일자 | 2010-09-02 |
| 5. 특허 활용계획 | 본 특허는 태양전지 제조장치와 관련된 것으로 본 특허기술을 태양전지 장비에 적용하여 기술경쟁력 및 원가경쟁력을 향상시키고 장비 개발 및 제조에 활용할 계획임. |
| 6. 확인일자 | 2010-09-02 |
| 7. 기타 투자판단에 참고할 사항 | - |
