[프라임경제] 주성엔지니어링(036930)은 배치 방식 반도체 제조 장치 관련 특허권을 취득했다고 19일 공시했다.
특허권 취득(자율공시)
| 1. 특허명칭 | 배치 방식 반도체 제조 장치 |
| 2. 특허 주요내용 | 본 발명은 반도체 제조 장치로써 우수한 막질의 박막을 증착 하는 것에 관한 특허 |
| 3. 특허권자 | 주성엔지니어링㈜ |
| 4. 특허취득일자 | 2010-07-19 |
| 5. 특허 활용계획 | 반도체 장비의 경쟁력 강화 |
| 6. 확인일자 | 2010-07-19 |
| 7. 기타 투자판단에 참고할 사항 | 상기특허는 한국특허임 |
