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주성엔지니어링 전극 장치 관련 특허권 취득

이진이 기자 기자  2010.07.19 16:24:09

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[프라임경제] 주성엔지니어링(036930)은 반도체 제조 장치용 전극에 대한 특허권을 취득했다고 19일 공시했다.

특허권 취득(자율공시)
1. 특허명칭 반도체 제조 장치용 전극
2. 특허 주요내용 본 발명은 반도체 제조 장비의 효율을 높이는 전극 장치에 관한 특허
3. 특허권자 주성엔지니어링㈜
4. 특허취득일자 2010-07-19
5. 특허 활용계획 반도체, FPD, 태양전지 장비의 경쟁력 강화
6. 확인일자 2010-07-19
7. 기타 투자판단에 참고할 사항 상기특허는 한국특허임