[프라임경제] 테스(095610)가 기판 반송용 블레이드 관련 특허권을 취득했다고 1일 공시했다.
특허권 취득(자율공시)
| 1. 특허명칭 | 기판 반송용 블레이드 및 이를 구비하는 기판 반송 장치 |
| 2. 특허 주요내용 | 본 발명은 기판 반송용 블레이드에 관한 것으로, 블레이드와 기판(웨이퍼)의 접촉 면적을 최소화 할 수 있어, 기판과 블레이드 사이의 접촉에 따른 파티클 발생을 최소화할 수 있다. |
| 3. 특허권자 | 주식회사 테스 |
| 4. 특허취득일자 | 2010-07-01 |
| 5. 특허 활용계획 | 1.반도체장비 제조시 특허기술 적용을 통한 경쟁력 강화 2.기술경쟁력 및 원가경쟁력 향상 3.반도체 및 태양전지 장비 개발에 활용 |
| 6. 확인일자 | 2010-07-01 |
| 7. 기타 투자판단에 참고할 사항 | - |
