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주성엔지니어링, 샤워헤드 어셈블리 특허권 취득

이철현 기자 기자  2010.06.17 15:06:19

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[프라임경제]주성엔지니어링은 지난 16일 액정표시장치용 플라즈마 강화 화학기상증착 장치의 샤워헤드 어셈블리 관한 특허를 취득했다고 17일 공시했다.