코미코, 파티클 제거 특허권 취득

[프라임경제]코미코는 8일 파티클 제거 방법 및 장치와 함께 이를 포함하는 파티클 측정방법 및 장치에 관한 특허를 취득했다고 공시했다.

코미코 측은 이번 특허를 "반도체 제조장비용 부품 정밀세정 등에 활용할 계획"이라고 전했다.