[프라임경제] 테스(095610)는 플라즈마 처리장치관련 특허권을 취득 했다고 13일 공시했다.
특허권 취득(자율공시)
| 1. 특허명칭 | 플라즈마 처리장치 |
| 2. 특허 주요내용 | 본 발명은 플라즈마 처리장치에 관한 것으로, 고밀도의 플라즈마를 기판에 분사함으로써, 기판에 형성된 박막의 균일도를 높일 수 있는 효과가 있다. 또한, 본 발명은 플라즈마 디퓨저의 하부에 고주파 전계를 가함으로써, 플라즈마 디퓨저로부터 분사된 플라즈마의 밀도를 유지시킬 수 있는 효과가 있다. |
| 3. 특허권자 | 주식회사 테스 |
| 4. 특허취득일자 | 2010-04-13 |
| 5. 특허 활용계획 | 1.반도체장비 제조시 특허기술 적용을 통한 경쟁력 강화 2.기술경쟁력 및 원가경쟁력 향상 3.반도체 및 태양전지 장비 개발에 활용 |
| 6. 확인일자 | 2010-04-13 |
| 7. 기타 투자판단에 참고할 사항 | - |
