[프라임경제]로체시스템즈는 진공로봇의 웨이퍼 클램프 장치에 대한 기술 특허권을 취득했다고 5일 공시했다.
특허권 취득(자율공시)
| 1. 특허명칭 | 진공 로봇의 웨이퍼 클램프 장치 |
| 2. 특허 주요내용 | 종래의 진공 챔버 안의 반송 로봇의 경우 Clamp 방법이 어려운 문제로 인하여 Wafer의 위치 틀어짐 및 로봇의 반송 속도를 올리는 것에 대하여 취약한 구조를 가지고 있었다. 본 발명은 이러한 진공 챔버 내의 반송 로봇의 Clamp 구조를 개선 하고자 편심 축 회선 방식을 이용하여(로봇의 관절의 회전 시 거리차이를 이용) Clamp하는 방법으로 구성이 간단 하고 진공 챔버 내의 반송용 로봇의 이송 속도 및 Wafer의 반송 위치 정밀도를 동시에 올릴 수 있는 기술이다. |
| 3. 특허권자 | 로체시스템즈(주) |
| 4. 특허취득일자 | 2010-04-02 |
| 5. 특허 활용계획 | 당사의 반도체이송장비에 적용될 예정입니다. |
| 6. 확인일자 | 2010-04-02 |
| 7. 기타 투자판단에 참고할 사항 | - |
