[프라임경제]디엠에스는 '플라즈마 반응기의 실시간 제어를 실현하는 종말점 검출장치 및 이를 포함하는 플라즈마 반응기 및 그 종말점 검출 방법'에 대한 특허권을 취득했다고 19일 공시했다.
특허권 취득(자율공시)
| 1. 특허명칭 | 플라즈마 반응기의 실시간 제어를 실현하는 종말점 검출장치 및 이를 포함하는 플라즈마 반응기 및 그 종말점 검출 방법 |
| 2. 특허 주요내용 | 본 발명은 플라즈마 반응기의 식각 종말점(Etching endpoint)검출장치에 관한 것으로,웨이퍼의 식각(Etching) 또는 증착(Deposition)공정에서 실시간 생성되는 광스펙트럼분석(Optical Emission Spectrometry)데이터에 따라 종말점 검출속도를 증가시켜 플라즈마 반응기의 실시간 제어를 실현하는 기술에 관한 특허임 |
| 3. 특허권자 | 주식회사 디엠에스 |
| 4. 특허취득일자 | 2010-01-20 |
| 5. 특허 활용계획 | 반도체 건식식각장비의 경쟁력 확보 |
| 6. 확인일자 | 2010-03-18 |
| 7. 기타 투자판단에 참고할 사항 | 상기 특허는 해외(중국)특허임 |
