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에스엔유프리시젼-두께측정창치 특허권

류현중 기자 기자  2010.03.09 15:08:00

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[프라임경제]에스엔유프리시젼은 두께 측정장치에 대한 특허권을 취득했다고 9일 공시했다.

특허권 취득(자율공시)
1. 특허명칭 두께 측정장치
2. 특허 주요내용 품질을 결정하는 주요 원인인 박막의 두께를 측정함에 있어, 간섭광과 분광을 선택 또는 동시에 사용함으로써 다양한 재질 또는 두께를 가지는 박막의 두께를 정확하게 측정할 수 있는 기술임.
3. 특허권자 에스엔유프리시젼(주)
4. 특허취득일자 2010-03-08
5. 특허 활용계획 LCD, OLED, Solar Cell, 반도체 제조(검사)장비
6. 확인일자 2010-03-08
7. 기타 투자판단에 참고할 사항 상기 특허취득일자 및 확인일자는 특허등록료 납부일자임