[프라임경제]주성엔지니어링은 반도체 소자 제조방법에 대한 특허권을 취득했다고 8일 공시했다.
특허권 취득(자율공시)
| 1. 특허명칭 | 반도체 소자 제조방법 |
| 2. 특허 주요내용 | 본 발명은 반도체 소자 제조방법에 있어서 고유전박막으로 사용되는 탄탈륨질화산화막을 형성하는 방법에 관한 특허임. |
| 3. 특허권자 | 주성엔지니어링(주) |
| 4. 특허취득일자 | 2010-03-05 |
| 5. 특허 활용계획 | 반도체 장비 경쟁력 강화 |
| 6. 확인일자 | 2010-03-08 |
| 7. 기타 투자판단에 참고할 사항 | 상기 특허는 일본 특허임. |
