[프라임경제]주성엔지니어링은 '기판의 로딩 장치 및 이를 이용한 기판의 로딩'방법에 대한 특허권을 취득했다고 19일 공시했다.
특허권 취득(자율공시)
| 1. 특허명칭 | 기판의 로딩 장치 및 이를 이용한 기판의 로딩 방법 |
| 2. 특허 주요내용 | 본 발명은 서셉터 상부 히터 블록에 복수 개의 기판을 동시에 로딩할 수 있는 장치 및 이를 이용한 기판의 로딩 방법에 관한 특허임. |
| 3. 특허권자 | 주성엔지니어링(주) |
| 4. 특허취득일자 | 2010-02-19 |
| 5. 특허 활용계획 | 태양전지, FPD(Flat Panel Display), 반도체 장비 경쟁력 강화 |
| 6. 확인일자 | 2010-02-19 |
| 7. 기타 투자판단에 참고할 사항 | 상기 특허는 한국 특허임. |
