| 1. 특허명칭 | 플라즈마 화학기상증착장치 |
| 2. 특허 주요내용 | 본 발명은 플라즈마 화학기상증착 장치에 관한 것으로 섀도우 프레임(shadow frame) 부분을 개선하여 하부 펌핑(bottom pumping) 구조에도 적합한 기술에 관한 특허임. |
| 3. 특허권자 | 주성엔지니어링(주) |
| 4. 특허취득일자 | 2010-02-11 |
| 5. 특허 활용계획 | 태양전지, FPD(Flat Panel Display) 장비 경쟁력 강화 |
| 6. 확인일자 | 2010-02-11 |
| 7. 기타 투자판단에 참고할 사항 | 상기 특허는 한국 특허임. |
