[프라임경제]주성엔지니어링(주)(036930)은 화학기상증착 장치의 샤워헤드관련 특허권을 취득했다고 5일 공시했다. 특허취득일은 4일이다.
특허권 취득(자율공시)
| 1. 특허명칭 | 화학기상증착 장치의 샤워헤드 |
| 2. 특허 주요내용 | FPD(Flat Panel Display)와 태양전지 장비에 사용되는 반응 챔버에서 열적 변형을 방지하고 박막의 두께 균일도를 향상 시킬 수 있는 가스분사장치에 관한 특허 |
| 3. 특허권자 | 주성엔지니어링(주) |
| 4. 특허취득일자 | 2010-02-04 |
| 5. 특허 활용계획 | FPD(Flat Panel Display), 태양전지 장비 경쟁력 강화 |
| 6. 확인일자 | 2010-02-05 |
| 7. 기타 투자판단에 참고할 사항 | - 상기 특허는 한국 특허입니다. |
