[프라임경제] 에스티아이(039440)는 27일 기판 건조 장치에 관한 특허를 취득했다고 공시했다.
특허권 취득(자율공시)
| 1. 특허명칭 | 기판 건조 장치 |
| 2. 특허 주요내용 | 기판 사이즈 변경에 따라 기판을 지지하는 고정핀의 위치를 자동으로 조절할 수 있는 기판건조장치에 관한 것으로, 기판 사이즈의 변경에 따라 기판을 지지하는 고정핀의 위치를 자동으로 변경할 수 있어 다양한 사이즈의 기판 건조공정에 적용될 수 있으며, 특히 다양한 사이즈의 기판에 대한 건조공정을 하나의 챔버 내에서 동시에 진행할 수 있다. 또한, 기판 건조장치는 기판사이즈가 변경되더라도 고정핀의 위치 변경을 통해 기판의 비활성 영역을 지지하기 때문에 기판사이즈 변경에 따른 기판의 건조불량을 방지할 수 있다. |
| 3. 특허권자 | 주식회사 에스티아이 |
| 4. 특허취득일자 | 2010-01-27 |
| 5. 특허 활용계획 | 상기의 특허는 잉크젯 프린팅을 이용한 LCD 배향막 및 컬러필터 공정 등에 적용될 예정입니다. |
| 6. 확인일자 | 2010-01-27 |
