에이피시스템, 급속열처리용 기판요동장치 관련 특허 취득

[프라임경제] 에이피시스템은 1월15일자로 급속열처리용 기판요동장치에 대한 특허권을 취득했다고 18일 공시했다. 에이피시스템은 해당 특허를 향후 대구경 RTP장비에 적용할 예정이다.