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테스, 반도체 장비 적용기술 관련 특허권 취득

 

하영인 기자 | hyi@newsprime.co.kr | 2018.10.12 14:06:36

[프라임경제] 테스(095610)는 '플라즈마 처리장치 및 이를 이용한 탄소막의 증착방법'에 대한 특허권을 취득했다고 12일 공시했다.
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